میکروسکوپ الکترونی SEM

میکروسکوپ الکترونی SEM

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یکی از پیشرفته‌ترین ابزارهای تصویربرداری در علوم مواد و فناوری نانو است که با استفاده از پرتوهای الکترونی با انرژی بالا، تصاویری بسیار دقیق از سطح نمونه با وضوح نانومتری ارائه می‌دهد. این دستگاه با روبش (اسکن) سطح نمونه توسط باریکه‌ای از الکترون‌ها و تحلیل سیگنال‌های برگشتی، امکان مشاهده‌ی جزئیات سطحی، بافت، شکل، اندازه و حتی ترکیب عنصری نمونه را فراهم می‌سازد.

ویژگی‌ها و مشخصات دستگاه

• بزرگنمایی تا 300,000 برابر

• رزولوشن بالا تا 1 نانومتر

• قابلیت آنالیز عنصری (EDS/Mapping)

• امکان تصویربرداری در حالت خلأ بالا یا فشار متغیر

• تهیه تصویر سه‌بعدی از سطح نمونه

• سازگار با نمونه‌های زیستی و غیرزیستی

  در سیستم SEM، پرتوی الکترونی تولیدشده توسط تفنگ الکترونی (Electron Gun) بر روی سطح نمونه متمرکز شده و هنگام برخورد با آن، الکترون‌های ثانویه، برگشتی و پرتوهای X تولید می‌شوند. این سیگنال‌ها توسط آشکارسازها جمع‌آوری و پردازش می‌شوند تا تصویری سه‌بعدی با عمق میدان بالا و تفکیک‌پذیری فوق‌العاده به دست آید.

  برای نمونه‌های غیررسانا، معمولاً لایه نازکی از طلا یا کربن بر سطح نمونه پوشش داده می‌شود تا از تجمع بار الکتریکی جلوگیری شود.